Hmotnostní analyzátor vždy pracuje za vysokého vakua, hodnota vakua se liší podle typu analyzátoru:
Také iontový zdroj většinou pracuje za vysokého vakua, výjimkou jsou ionizační techniky pracující za atmosférického tlaku (ESI, APCI, APPI)
K získání tak hodnot hlubokého vakua je obvykle potřeba dvou nebo i více (ICR) stupňové čerpání velmi výkonnými vakuovými pumpami
· první stupeň čerpání - rotační pumpy (výkon 80 l/s)
· druhý stupeň čerpání - turbomolekulární nebo difúzní pumpy (výkon 250 l/s)
Proč je potřeba vakuum?
Hodnoty tlaku jsou v MS často uváděny v jiných jednotkách než SI, proto je nutné znát přepočet:
Konstrukce používaných typů vývěv je znázorněna na obrázku. Nejčastěji jsou používány kombinace turbo-molekulární vývěvy (D) s membránovým (A) primárním stupněm. Difuzní (C) a šoupátkové (B) vývěvy nejsou příliš vhodné pro „nečistý“ provoz.

Jaroslava Vávrová